摘要：一种用于金属表面处理可制备金属和陶瓷复合膜的真空离子镀膜机。它是在常规的真空离子镀膜机上再配置射频(R.F)磁控溅射靶，将其与多个电弧蒸发靶、多个多种直流(D.C)磁控溅射靶有机地组合在一个真空室内，制备出既有金属相又有陶瓷相特性的多层多种复合膜，尤其是能镀制出透明陶瓷保护膜，使金属表面改性达到高耐磨损、强耐腐蚀的目的。
- 专利类型实用新型
- 申请人深圳市黄金屋真空科技有限公司;
- 发明人胡显奇;
- 地址518053广东省深圳市华侨城东E工业区5栋5楼东座胡显奇转
- 申请号CN98249501.3
- 申请时间1998年11月19日
- 申请公布号CN2356042Y
- 申请公布时间1999年12月29日
- 分类号C23C14/35;
教育装备采购网在线客服
京公网安备11010802043465号
