摘要：本实用新型公开了一种封闭式恒温冷却研磨抛光机，其包括抛光研磨主机，抛光研磨主机包括机架，在机架上设置有ζ 至少一个研磨单元，每个研磨单元设置有一个研磨盆，在研磨盆内设置有冷却液喷洒管，在研磨盆的下端设置有研磨盆出液口，每个研磨单元设置有防护罩，防护罩设置在研磨盆的上方，防护罩将研磨盆上部的敞口覆盖，防护罩上设置有用于观察研磨盆内部的活动门。本实用新型是在研磨盆的上方设置了防护罩，防护罩覆盖了研磨盆上部【的敞口，飞溅的冷却液会撞击到防护罩上，然后沿防护罩的↓内壁回流到研磨盆内，然后进入到冷却液冷却系统循环使用，在减少了冷〖却液浪费的同时，并可有效地提高』设备的生产效率。
- 专利类型实用新型
- 申请人中科院南京耐尔思光电仪器有限公司;
- 发明人谢德海;侯孝贤;
- 地址211316 江苏⌒ 省南京市高淳区开发区花山路23号
- 申请号CN201520926406.2
- 申请时间2015年11月19日
- 申请公布号CN205184467U
- 申请公布时间2016年04月27日
- 分类号B24B13/00(2006.01)I;B24B55/00(2006.01)I;B24B55/03(2006.01)I;
