摘要：本实用新型涉及一种微球沉积样品架装置，具有由步进电机驱动旋转的样品盘，还具有压电陶瓷振动器，压电陶瓷振动器设于真空室中，安装于步进电机输出端的样品架上，样品盘固定在压电陶瓷振动器上；还具有水平敲击组件，设于样品架的侧边。本实用新型在样品盘上加频率控制和振动功能，这样保证样品不仅仅在转动而且还有跳动，保证沉积均匀性。
- 专利类型实用新型
- 申请人沈阳腾鳌真空技术有限公司;
- 发明人慈连鳌;
- 地址110101 辽宁省沈阳市苏家屯区大淑堡瑰香街83-5号
- 申请号CN201520494086.8
- 申请时间2015年07月09日
- 申请公布号CN204779801U
- 申请公布时间2015年11月18日
- 分类号C23C16/458(2006.01)I;C23C16/50(2006.01)I;
