摘要：本实用新型提供了一种储片盒换气歧管，竖直安装于开门机构上。所述一种储片盒换气歧管设置进气孔和出气孔，所述出气孔与竖直方向具有预定的倾斜角度，所述出气孔与进气孔相通。本实用新型通过进气孔向歧管通入氮气等气体，并通过出气孔向储片盒的腔内匀速注入氮气等气体，降低储片盒腔内的含氧量，为储片盒营造一个低氧、洁净的微环境。另外由于在换气过程中，在整个纵向都有出气孔，因此形成的层流气流可以最充分的排走储片盒内的空气，并且不容易卷起储片盒内部的颗粒；本实用新型的歧管能够有效防止储片盒门』的开门机构将门打开时污染内部的微环境。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人孙晋博;
- 地址100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层
- 申请号CN201520248103.X
- 申请时间2015年04月22日
- 申请公布号CN204741007U
- 申请公布时间2015年11月04日
- 分类号H01L21/673(2006.01)I;
