摘要：本实用新型公开了一种硅片烘干机，包括支架，支承于支架上的烘干腔体，所述烘干腔体左右两侧设置有硅片篮进口与硅片篮出口，在所述支架上还设置有贯穿硅片篮进口与硅片篮出口的滑轨，在所述支架上还可移动地支承有与滑轨平行的拉杆，在所述拉杆上铰支有推送爪，所述拉杆由往复直线运动机构驱动。该硅片烘干机不仅能满足每一生产节拍输出多个硅片篮的烘干要求，而且各硅片篮烘干输出后具有确定的位置。
- 专利类型实用新型
- 申请人上海思恩电子技术（东台）有限公司;
- 发明人倪加乐;滕明;顾小兰;
- 地址224200 江苏省盐城市东台市城东新区东进大道48号
- 申请号CN201420010716.5
- 申请时间2014年01月09日
- 申请公布号CN203687556U
- 申请公布时间2014年07月02日
- 分类号F26B15/12(2006.01)I;F26B25/00(2006.01)I;F26B25/06(2006.01)I;
