摘要：本实用新型提供一种电感耦合等离子体（ICP）功率线圈的制作装置，所述制作装置包括：螺纹模块，包括圆柱体部和结合部，圆柱体部的外表面上形成有螺纹槽，以用于形成电感耦合等离子体功率线圈的主体部；矩形模块，包括分别形成在矩形模块的上表面和下表面上的凹槽和形成在矩形模块的侧表面上的结合槽，凹槽用于形成电感耦合等离子体功率线圈的端部，其中，当结合部插入到结合槽中时，螺纹模块与矩形模块相对固定。根据本实用新型的实施例的ICP功率线圈的制作装置，制作出来的ICP功率线圈参数一致性好，保证了仪器更换新的功率线圈后负载一致性好，匹配参数基本保持一致，完全可以免除工程师重新校准参数的工作，省时省力。
- 专利类型实用新型
- 申请人钢研纳克检测技术有限公司;
- 发明人罗剑秋;赵英飞;任立志;唐振山;董海洋;
- 地址100081 北京市海淀区高粱桥斜街13号
- 申请号CN201320839155.5
- 申请时间2013年12月18日
- 申请公布号CN203631473U
- 申请公布时间2014年06月04日
- 分类号H01J9/00(2006.01)I;H01F41/04(2006.01)I;
