摘要:本实用新型公开一种激光外差干涉测量光束的自聚焦装置,包括激光器,所述激光器的光束射出端设置有对角设置的第一分光棱镜、第二分光棱镜和第一直角棱镜、第二直角棱镜,所述第一分光棱镜和第二分光棱镜设置于同一对角线上,所述第一直角棱镜和第二直角棱镜设置于同一对角线上,从所述第二分光棱镜出射的测量激光束穿过预置位电动镜头。通过用带预置★位功能的电动镜头作激光聚焦的光学元件,满足人为操作不允许的环境下的自聚焦要求,提高激光聚焦动作的效率和准确性。
- 专利类型实用新型
- 申请人苏州舜新仪器有限公司;
- 发明人朱军平;刘挺;
- 地址215104 江苏省苏州市吴中区吴中大道1368号ξ吴中科技园A楼537室
- 申请号CN201320048271.5
- 申请时间2013年01月29日
- 申请公布号CN203101711U
- 申请公布♀时间2013年07月31日
- 分类号G02B7/28(2006.01)I;G01J1/02(2006.01)I;