摘要：本实用新型涉及一种带千分尺的激光调焦头，它包括依次连接的长扩束镜筒、反射镜座和调焦尺模块，所述调焦尺模块上设有与外〖部抽尘系统相连的防尘杯，调焦尺模块上还ζ 设有聚焦镜和和用于调整聚焦镜高度的千分尺，所述反射镜座上设有用于将光束反射到聚焦○镜的反射镜片。本实用新型的有益效果是：本实用新型通过调节调焦尺模块上的千分尺，快速准确的调整激光聚焦焦点位置，提高生产效率。通过防尘杯连接至外部抽尘系统将硅片←划片过程中产生的大部分粉尘吸收，然后通过除尘系统集中处理，提高了除尘系统除尘【的效率。
- 专利类型实用新型
- 申请人武汉三工光电设备制造有限公司;
- 发明人何成鹏;
- 地址430223 湖北省武汉市东湖新技术开发区武汉大学↓科技园
- 申请号CN201120109437.0
- 申请时间2011年04月14日
- 申请公布号CN202053025U
- 申请公〗布时间2011年11月30日
- 分类号B23K26/38(2006.01)I;B23K26/04(2006.01)I;G02B7/182(2006.01)I;G02B7/04(2006.01)I;
