摘要：本实用新型涉及一种高度集成的测试腔结构，它密封性好，漏点少，占地空间小，结构简单，安装方便。其结构为：它包括一个金属集成块，在金属集成块上设有至少一个测试单元；测试』单元包括一个测试腔，试样安装在测试腔上；同时，测★试腔还与一对气路孔连通；在至少一个气路孔上设有至少一个流量︼控制装置；其中至少一个气路孔还与至少一个气路切换装置连接。
- 专利类型实用新型
- 申请人济南兰光机电技术有限公司;
- 发明人姜允中;
- 地址250031 山东省济南市天桥区无影山路144号
- 申请号CN201020654402.0
- 申请时间2010年12月13日
- 申请公布号CN201885742U
- 申请公╱布时间2011年06月29日
- 分类号G01D11/00(2006.01)I;
