摘要：本实用新型公开了一种真空腔检漏设备，其包括一气体充注装置，所述气体充注装置连接一软管，所述软管连接一刚性管，所述◢刚性管可通过连接部件与待测真空腔体连接；其还包括一真空腔体安置容器，所述真空腔体安置容器中可盛放一定量的液体，所述刚性管铺设于所述真空腔体安置容器中。本实用新型的设备用于真空腔气密性的检☆漏过程，设备制作简易方便，成本低廉，便于操作，能〓够很好的检测腔体的气密性能，且一次可以同时检测多个腔体的气密性能，提高▅检测效率。
- 专利类型实用新型
- 申请人江苏天瑞仪器股份有限公司;
- 发明人应刚;奚君轩;
- 地址215200 江苏省昆山市巴城镇苇城南路1666号∞天瑞大厦
- 申请号CN201020281315.5
- 申请时间2010年08月04日
- 申请公布号CN201788062U
- 申请公布时ζ 间2011年04月06日
- 分类号G01M3/10(2006.01)I;
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