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                教育装备采购→网首页 > 知识产权 > 专利 > CN201773112U
                
            
                
                
                
                    
                
                        

                        
                        
                    
                
                
                
            
                
        
                
        
                
            
                
                
                一种AFM的重定位系统
                
                
                
                
                
                    
                　　摘要：本实用新型↓涉及一种AFM的重定位系统，包括PC机、微控制器、光信号处理】电路模块、高压驱动器和操作平台，PC机通过线路连接微控制器，微控制器与PC机的连接线路上并联针尖偏移前馈补偿电路模块，微控制器通过线路分别连接第一A/D转换模块、第二A/D转换模块、D/A转换模块和鲁棒控制器，第一A/D转换模块通过线路连接光信号处理电路模块，D/A转换模块通过线路连接高压驱动器，第二A/D转换模⊙块通过线路连接位移信号处理电路模块。本实用新型有益效果：采用鲁棒控制器、探针针尖偏移量前馈补偿和压电陶瓷扫描器组合控制方式，使系统仍能保持预期的性能，重复定位精确度高，速度快，具有良好的跟踪能力和重定位效果。
                
                    
                    
                  
                        
                • 专利类型实用新型
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                • 申请人苏州海兹思纳米科技有限公司;
                  • 
                        
                • 发明人唐沈健;孙鑫;陈前春;李立强;
                  • 
                        
                • 地址215000 江苏省苏州市苏州工业园区星湖街218号生物纳米园A4楼105
                  • 
                        
                • 申请号CN201020272000.4
                  • 
                        
                • 申请时间2010年07月27日
                  • 
                        
                • 申请公布号CN201773112U
                  • 
                        
                • 申请公布时间2011年03月23日
                  • 
                        
                • 分类号G01Q10/06(2010.01)I;
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