摘要：本实用新型涉及一种自动光学检测系统，包含一影像撷取装置、一基准标记分析单元、一影像校正单元以及一缺陷分析单元。影像撷取装置用以撷取一待测样品的影像。基准标记分析单ω 元与影像撷取装置电性连接，用以找出影像中的基准标记。影像校正单元与基准标记分析单元电性连接，用以依据基准标记校正影像并输出一校正影像。缺陷分析单元与影像校正单元电性，用以分析校正影像是否存在缺陷。上述自动光学检测系统可改善因待测样品■晃动所造成的影像位移的问题。
- 专利类型实用新型
- 申请人上海中∮晶科技有限公司;
- 发明人林君谚;吴金来;金山;
- 地址200233 上海市漕河泾开发区桂平路680号35号楼
- 申请号CN201020187070.X
- 申请时间2010年05月07日
- 申㊣请公布号CN201673124U
- 申请公布时间2010年12月15日
- 分类号G01N21/88(2006.01)I;
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