摘要：本实用新型涉及△一种多模式原子力显微镜，包括AFM主机、电子控制系统和计算机系统，所述AFM主机通过电子控制系统连接计算机系统，所述AFM主机包括AFM探针头部和AFM基座，其中AFM探针头部一侧中下部靠近边缘处设有探针模块，AFM探针头部正下方设有AFM基座，AFM基座包括上基座和下基座，上基座与下基座通过三个圆柱形部件相连，所述上基座中部设有扫描器，扫描器下方对称设有精密二维调节装置，扫描器两侧对称设有粗调驱动装置，所述粗调驱动装置穿过所述上基座。本实用新型的有益效果为：操作容易，为目前研究纳米科技及材料分析的最重要工具之一；功能超过以往显微镜技术。
- 专利类型实用新型
- 申请人苏州海兹思纳米科技有限公司;
- 发明人胡志强;罗先照;
- 地址215000 江苏省苏州市苏州工业园区星湖街218号生物纳米园A4楼105
- 申请号CN200920175591.0
- 申请时间2009年08月24日
- 申请公布号CN201488932U
- 申请公布时间2010年05月26日
- 分类号G01N13/16(2006.01)I;
