摘要：本发明涉Ψ及一种加热匀胶的旋涂装▽置，所述装置包⊙含有竖向设置的转轴（5），所述转轴（5）顶部套装有一水平设置的载物盘（1），所述转轴（5）上套装有隔热盘（4）和导电滑卐环（6），所述隔热盘（4）上安装有加热盘（3），所述加热盘（3）通过导电滑环（6）与电源相连接，上述隔热盘（4）位于加热盘（3）和导电滑环（6）之间，且加热盘（3）位于载物盘（1）的下方。本发明涉及一种加热匀胶的旋涂装置，能够在旋转过程中对胶液进行加热并对温度⌒进行精确控制。
- 专利类型发明专利
- 申请人江苏雷博科学仪器有限公司;
- 发明人汪竹;陈建锋;曹喜喜;万发能;
- 地址214434 江苏省无锡市江阴市澄江中路159号Ｃ301
- 申请号CN201610120011.2
- 申请时间2016年03月03日
- 申∑ 请公布号CN105689209A
- 申请公布时间2016年06月22日
- 分类号B05C13/02(2006.01)I;B05C9/14(2006.01)I;
