摘要：本发明公开了一种无尘室循〓环过滤装置，其包括：过滤单元，其设置于无尘室内，该过滤单元与无尘室的顶部之间形成第一腔室；板体，其上开设有多个通孔，该板体设置于无尘室内并位于过滤单元的下方，该板体与过滤单元之间形成第二腔室，该板体与无尘室的底部之间形成第三腔室；回风通道，其两端分别连通第一腔室和第三腔室。本发明同时还公开了一种无尘室和手套箱。本发明与现有技术相比，在简化结构和降低成本的前提下，同样形成了高洁净度的无尘环境，使得洁净度同样可以达到ISO1级。
- 专利类型发明专利
- 申请人威格气体纯化科技（苏州）股份有限公司;
- 发明人张德龙;
- 地址215026 江苏省苏州市苏州工业园区杏林街78号新兴产业工业坊2号厂房
- 申请号CN201610186870.1
- 申请时间2016年03月29日
- 申请公布号CN105666528A
- 申请公布时间2016年06月15日
- 分类号B25J21/02(2006.01)I;B01D46/00(2006.01)I;
