摘要：本发明公开了一种薄膜应力测量装置，包括激光器、扩束镜、会聚透镜、带分光镜的移测显微镜以及镀有铝半透膜的平面玻璃，所述激光器发出的激光束照射至扩束镜成为发散光束后，再通过会聚透镜成为平行光束至分光镜，所述分光镜将光垂直反射至平面玻璃上，所述分光镜为倾斜度可调，所述测试样品放在平面玻璃上Ψ ，垂直入射的激光束照射在半透膜平面以及薄膜样品上，反射后的激光束产生等厚干涉条纹，并显示在移测显微镜中。本发明的薄膜应力测量方法基于基片弯曲发和牛顿环的原理，搭建了简便的薄膜应力测量装置，能够快速准确地测量薄膜的应力随薄膜厚度的变化，本发明的装」置结构简便，测量结果准确，适用性广。
- 专利类型发明专利
- 申请人苏州精创光学仪器有限公司;
- 发明人尚修鑫;
- 地址215300 江苏省苏州市■昆山市开发区章基路189号
- 申请号CN201410606292.3
- 申请时间2014年11月03日
- 申请公布号CN104316234A
- 申︻请公布时间2015年01月28日
- 分类号G01L1/24(2006.01)I;
