摘要：本发明为∮一种用于电子级六氟乙烷中微量杂质分析的气相色谱仪，其结构包括进样系统，切换阀，色谱柱，放空针阀和检测器，其特征在于：所述进样系统包括样品进口、样品出口、第一定量管、第二定量管、第三定量管；所述切换阀包括第一切换阀、第二切换阀、第三切换阀、第四切换阀、第五切换阀；所述色谱柱包括第一色谱柱、第二色谱柱、第三色谱柱、第四色谱柱、第五色谱柱、第六「色谱柱；所述放空针阀包括第一针阀、第二针阀、第三针阀）、第四针阀、第五针阀、第六针阀；所述检测器包括氦离子化第一检测器PDD1和第二检测器PDD2。本发明一次进样即完成电子级六氟乙烷中各个无机杂质的色谱分析，且灵敏度高、重复性好，符合标准。
- 专利类型发明专利
- 申请人上海华爱色谱分析技术有限公司;
- 发明人庄鸿涛;郁光;方华;
- 地址200233 上海市徐汇区田林十村37号446室
- 申请号CN201410618422.5
- 申请时间2014年11月06日
- 申请公布号CN104297382B
- 申请公布时间2015年12月02日
- 分类号G01N30/02(2006.01)I;
