摘要：本发明公开了一种适用于纳米材料操控的多自由度纳米操作台，包括底座、Z向位移台、XY向位移台和纳米操作臂，其中Z向位移台沿着竖直方向设置在底座上，包括彼此连接的固定部件和安装有Z向直线驱动电机的移动部件；XY向位移台沿着水平方向设置在Z向位移台的移动部件上，并包括彼此并◤联滑动连接的第一至第三并联部件，其中第一并联部件上安装有Y向直线驱动电机，第二并联部件上安装有X向直线驱动电机，第三并联部件上安装有旋转运动驱动电机和纳米操作臂。本发明通过对驱动电机与位移台的高精度控制以及主要工作规格参数的设计，能够有效保证纳米操作的准确与稳定，同时具备运动精度高、运动范围大、调节灵活和结构紧凑等优点。
- 专利类型发明专利
- 申请人华中科技大学;
- 发明人赵昊;刘晓军;章明;雷自力;
- 地址430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 申请号CN201410118898.2
- 申请时间2014年03月27日
- 申请公布号CN103903942B
- 申请公布时间2015年12月02日
- 分类号H01J37/20(2006.01)I;B82Y35/00(2011.01)I;
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京公网安※备11010802043465号
