摘要：本发明的目的是提供一种同时具备高速率、高分辨率、高驱动力的双模超声波线性马达。其基本原理是在压电陶瓷驱动器的振动和摩擦下利用惯性实现线性移动，将超声波振动能量变换成物体的平动动能。本发明所提出的双模超声波线性马达的创新之处是将高速率和高精度这两个传统上不能兼容的指标在同一设♂备上实现。该马达不仅能以mm/s的高速率模式运行，还能以分辨率为纳米量级的高精度模式运行。同时，该马达还能工作在极低温、超高真空、强磁场等极端条件下，具有行程大，负载高的优点。
- 专利类型发明专利
- 申请人森泉(上海)光电科技有限公司;
- 发明人殷立峰;黄少华;姜炎;
- 地址200433 上海市杨浦区国定路335号1号楼6003室
- 申请号CN201210215562.9
- 申请时间2012年06月27日
- 申Ψ请公布号CN103516252A
- 申请公布时间2014年01月15日
- 分类号H02N2/02(2006.01)I;H02N2/06(2006.01)I;
