摘要：本发明提供了一种微型的桥式结构及其制备方法，包括四个悬臂梁，金属桥面，四个金属桥墩和衬底；每一∑个悬臂梁均为L型结构，悬臂梁的一端与一个金属桥墩垂直固定连接，另一端与金属桥面连接；金属桥面与悬臂梁位于同一个平面，四个悬臂梁将金属桥面悬挂于衬底上，并在金属桥面的下底面与衬底之间形成空腔结构。方法包括在洁々净的衬底表面制备金属桥墩；在形成有金属桥墩的衬底表面「涂覆牺牲层；对牺牲层进行光刻处理后将金属桥墩顶部的牺牲层去除并露出Ψ金属桥墩的顶部；对牺牲层进行固化处理；在固化后的牺牲↘层上制备金属桥面；去除金属桥面底部的牺牲层形成空腔，搭建「桥式结构。本发明提供的桥式结构，可←调谐范围大，桥面平行度好。
- 专利类型发明专利
- 申请人华中科技大学;广西师范学院;中国科学院深圳先进技术研究院;
- 发明人蒙庆华;陈四海;赖建军;黄光;吕超鸿;黄鹰;
- 地址430074 湖北省武汉市洪山区∞珞喻路1037号
- 申请号CN201310215152.9
- 申请时间2013年05月31日
- 申请公布号CN103345057B
- 申请公布时间2016年06月01日
- 分类号G02B26/00(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;
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