摘要：本发明公开了一种物体探测系统，其包括载物台、驱动所述载物台旋转的驱动装置、用于定位所述载物台的位置的ζ光学编码器、用于对于载物台上的目标物体进行探测的探测器以及控制模块。在扫描模式时，所述控制模块根据来自光学编码器的第一分辨率〓刻度数据去控制所述驱动装置以第一预定转速驱动所述载物台旋转以进行缺陷扫描。在检测模式时，所述控制模块根据来自光学编码器的第二分辨率刻度数据去控制所述驱动装置以第二预定转速驱动所述载物台旋转以进行缺陷检测。一方面，利用低分辨率刻度数据进行高速缺陷扫描，同时结合时间偏╲差及转速来精确定位缺陷位置，另一方面，利用高分辨率刻度数据进行低速缺陷定位，从而兼顾了快速扫描和精确的缺陷检测。
- 专利类型发明专利
- 申请人无锡微焦科技有限公司;
- 发明人何继中;
- 地址214125 江苏◆省无锡市滨湖区锦溪路100号科教产业园软件园B区6号楼402
- 申请号CN201310060782.3
- 申请时间2013年02月26日
- 申请公布号CN103196915B
- 申请公布时间2015年05月27日
- 分类号G01N21/88(2006.01)I;
