摘要：本发明提供一种高精度微流红外气体传感器及其测量方法，该高精度微流红外气体传感器包括红外光源系统、测量气室、红外半导体探测器、窄带滤光片、微流红外探测器、信号处理及输出系统，测量气室上同侧设有气体入口、气体出口，另一侧设有一通道，红外半导体探测器安装在╳此通道内；该传感器的测量方法包括将红外半导体探测器∩作为参考通道，将微流红外探测器作为测量通道，将参考通道获取的参考信号对测量◤通道获取的★测量信号进行修正，得到修正信号，信号处理及输出系统根据信号与气体浓度》的换算公式进行处理运算后输出测量气体的浓度值。本№发明结构简单，制造成本低，能提高微流红外气体传感器的测量精度和长期稳╱定性。
- 专利类型发明专利
- 申请人武汉四方光电科技有限公司;
- 发明人刘志强;蒋泰毅;何涛;石平静;
- 地址430205 湖北省武汉市东湖新技术♂开发区凤凰产业园凤凰园三路3号
- 申请号CN201210530268.7
- 申请时间2012年12月10日
- 申请公布号CN102980870A
- 申请公『布时间2013年03月20日
- 分类号G01N21/35(2006.01)I;
