摘要:本发明公开了一种微波少数载流子寿命测试仪专用测量夹具,包括一段90°的弯波导,弯波导的一端为微波反射计连接端,另一端为开口端,开口端设有被测材料的测试参考面,测试参考面设有抗流槽;弯波导拐弯处的壁上设有小孔,小孔装有激光发射器,激光发射器的发射方向指向弯波导的开口端。可以通过测量半导体材料表面电导率激光照射前后微波阻抗的变化,测得材料的少数载流子寿命,结构简单、使用方便。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京大华无线电仪器厂;
- 发明人彭越;刘中生;刘雯蕊;
- 地址100083 北京市海淀区学院路5号
- 申请号CN201210089039.6
- 申请时间2012年03月29日
- 申请公布号CN102645560A
- 申请公布时间2012年08月22日
- 分类号G01R1/04(2006.01)I;