摘要：本发明公开了一种光栅细分◤方法，包括：S1、一种光栅细分的方法，其特征在于，包括：S1.运用信号差分放大原理将光栅尺输入的四路相位信号整合成两路相位信号；S2.判断』所述的两路相位是否相差呈形成标准圆的90度；S3.根据光仪器的精度，将所述的标准圆分成若干等份；S4.根据所述的等份确定采样数据对应于所述标准圆上的位置。本发明还公开了一种光栅细分①方法装置和系统。实施本发明的光栅细分方法和装置大大改善了系统定位精度，使光栅在工业定位控制上面的定位精度更↓为准确、连续。
- 专利类型发明专利
- 申请人深圳市菲恩测控科技有限公司;
- 发明人汪红兵;余海林;
- 地址518000 广东〖省深圳市南山区桃源街道丽山路大学城创业园310室
- 申请号CN201110387477.6
- 申请时间2011年11月29日
- 申⌒ 请公布号CN102519503A
- 申请公布时间2012年06月27日
- 分类号G01D5/38(2006.01)I;
