摘要：本发明公开的是一种ξ 汽车歧管绝压传感器，包括扩散硅芯片，其特征在于，在扩散硅芯片的表面上运用硅-硅键合和硅-玻璃融封技术形成一个杯型背压︼腔保护层，把流体介质与扩散硅芯片表面电路隔离，所述杯型背压腔保护层上设有基座引脚，所述基座引脚通过焊接的方式与扩散硅芯片的芯片引角连接；扩散硅芯片与杯型背压腔保护层形成敏感元件。本发明具有能够抗振动、抗冷热冲击、抗过载、抗电磁干扰的能力以及体积小、结构灵活、精度高、稳定性和一致性好优点；而且→可换性强，抗腐蚀和抗磨损能力卓越，从而使扩散硅压力传感器在∏生产工艺上和Ψ性能指标上了一个新台阶，产业化水平有了较大的提高，应用设计灵活性有了大大↙的提高。
- 专利类型发明专利
- 申请人昆山诺金传感∑技术有限公司;威海诺金传感技术有限公司;北京↓鑫诺金传感技术有限公司;北京鑫诺金电子科技发展有限公司;北京德思源电子科技发展有限公司;
- 发明人郭宏;王莉莎;申爱群;师斌;庞晓华;
- 地址215325 江苏省昆山市周庄镇高科技园区
- 申请号CN201010120621.5
- 申请时间2010年03月09日
- 申↓请公布号CN101799343A
- 申ω请公布时间2010年08月11日
- 分类号G01L9/04(2006.01)I;
