摘要：本发明公开了一种气体供应方法，包括以下步骤：a、光源发出的光穿过转化单元内的包含有氧气的原始气体，其中，氧气在特定波长光的作用下，转化为臭氧；转化后的气体通入测量单元内；b、所述光源发出的光被滤掉所述特定波长的光，穿过测量单元内的气体，由第一探测器□接收，并转换成电信号；分析︽模块处理测得的电信号，得到臭氧浓度；c、转换后的气体被排出测量单元，向外界供应臭氧浓度已知的气体。本发明还公开了◥一种实施上述方法的装置。本发明具有结构简单、成本低、测量█准确等优点，应用在臭氧气体的供应中。
- 专利类型发明专利
- 申请人聚光科技(杭州)股份有限公司;
- 发明人黄伟;顾海涛;王健;
- 地址310052 浙江省杭州市滨江区滨安路760号
- 申请号CN200910154006.3
- 申请时间2009年09月30日
- 申请公布∮号CN101706384B
- 申请公布时间2012年02月22日
- 分类号G01N1/28(2006.01)I;G01N1/44(2006.01)I;G01N21/33(2006.01)I;C01B13/10(2006.01)I;
教育装∏备采购网在线客服
京公◤网安备11010802043465号
