摘要：本发明涉及一种多通道非晶硅太阳能板激光刻膜机，它包括激光模块、全反镜、分束镜、高反射镜、扩束镜、主动调Q开关、倍频晶体、聚焦镜和X-Y机械平台。其特征△是由激光模块、全反镜、高反射镜、主动调Q开关和倍频晶体产生的倍频激光，经过扩束镜扩束准直，再经过分束镜，全反镜多次反射或透射，经过聚焦镜聚焦形成四路倍频激光，依附机械平台在X或Y轴向运动，可实现多路同时对太阳能↓电池板的加工。本发明构思新颖，设计合理，工艺规范，可满足不同规格的太阳能电池基板加工要求，具有加工成本低廉、设备占地较小等特点，能尽快地形成工业化批量生产。本发明可以广泛应用于薄膜太阳能电池工艺流程中的底层电极，光伏效应层和表面欧姆接触电极层的刻划工艺。
- 专利类型发明专利
- 申请人武汉凌云光电科技有限责任公司;
- 发明人王锋;夏文建;
- 地址430205 湖北省武汉市东湖高新开发区东一产业园高新三路6号
- 申请号CN200810197733.3
- 申请时间2008年11月20日
- 申请公布号CN101434005B
- 申请公布时间2011年05月25日
- 分类号B23K26/067(2006.01)I;B23K26/36(2006.01)I;B23K26/40(2006.01)I;H01S3/109(2006.01)I;H01L31/20(2006.01)I;G02F1/35(2006.01)I;
