摘要：本发明公开了一种光学相位延迟精密测量方法及其系统，本发明的系统包括激光器、起偏器、光调制器、调制信号源、待测相位延迟器、相位补偿器、检偏器、光探测器、结果输出单元，本发明的方法通过在光路中加入光调制器对检测偏振光进行光调制，产生调制偏振光，结果显示单元对接收信号滤波处理后实现将直流零点的测量转▓换交流零点的测量，从而准确判断极值点位置，提高了测≡量精度。本发明测量简单方便，结果◤准确可靠，精度可达到λ/300，适用于波片等光学延迟器件的生产和销№售部门对产品的检验。
- 专利类型发明专利
- 申请人大恒新纪元科技股份有限公司北京光电技术研究所;
- 发明人宋菲君;范玲;俞蕾;韩永刚;林海晏;宋建力;姚思一;
- 地址100085北京市海淀区上地信息路甲9号3号楼2层
- 申请号CN200710178950.3
- 申请时间2007年12月07日
- 申请公布号CN101183043A
- 申请公布时间2008年05月21日
- 分类号G01M11/02(2006.01);
