匀胶机有♀很多种称谓，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又称甩※胶机、匀胶台、旋转涂胶『机、旋转涂膜机、旋转涂ξ　层机、旋︽转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪※、旋转涂膜仪、匀膜机，总的来说，他们原理都是样的，即在速旋转的基片上，滴『注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基△片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。

　　简介

　　匀胶机有很多种称谓，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶∮机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机，总的来说，他们原理都是样的，即在速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。

　　选购技巧

　　从其原理来说，可以看出选购匀胶机需要注意的几个细节"

　　1、 旋转速度:转速的快慢和控制精度直接关系到旋涂层的厚←度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机

　　的实际转速误差很大∴，对于要求精密涂覆的科◣研人员来说是无法获得↘准确的实验数据的。产的某些匀胶机只能提供转速范围，并不能标定实时的转速。口的匀胶机虽然大部分能标定转速，但是大部分转速精度没有际标准认定。建议购买转速控制方面【有际认定标准的，比如:美NIST标准等。

　　2、 真空吸╱附系统的构

　　真空泵定要无油的，压力标定√准确，内生产的无油真空泵实在不敢恭维。因为任何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，会导致基片吸附不住而产〒生"飞片"的情况，还会让滴胶液不慎入真空管道系统成全堵塞。用过产匀胶机的客户⌒　常常会关心怎么清洗的问题，这→点许多外的匀胶机做得不错，他们有通过联动机制，如果真空吸附力不够的时候，不会开始旋转。

　　3、 材质的选择

　　对于半导体化工行业的应用来说，材质的☆选择尤为关键，大部分匀胶机采用的是不锈钢或卐者普通塑料材质，因为这种▼材质的成本很低，不锈钢的对于各类化工胶液的抗腐蚀性不太好，塑料对于较温度和压力下易产生变形。如果这种变形引起托盘的位置失去水平的话，将会导致◆旋涂时，时时低的颠簸状态。自然无法得到好的旋涂效〗果。例如美等型号都是采用↙天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(氟隆,PTFE)材质。这两种材质具备绿色环保、节约资源、重量轻、强度大、抗冲击性能好、坚固耐用、花纹自然、光泽度好等优点。

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