传统激光扫描共聚焦显微镜对比数字全息显微镜DHM

　　激光扫描共聚焦显微镜(Confocal laser scanning microscope，CLSM)用激光作扫描光源，逐点、逐行、逐面快速扫描成像，系统经过调焦扫描不同平面的图像，通过计算机分析和模拟，就能显示细胞样品的立体结构。扫描实现3D这一原理和传统探针轮廓仪没什么不同。

　　而数字全息显微镜实现3D显微的原理是采用CCD记录物光和干涉光形成的全息图，样品的全息图包含了相位信息和振幅信息。振幅信息提供传统的显微镜对比度图像，相位信息提供样品精确的3D形貌信息，再通过计◥算机重建实现实时3D显微。

　　数字全息显微镜DHM的特点在于其非扫描成像方式实现3D形貌显微，可以做到超高速实时3D显微。这一点♀是传统3D测量系统比如CLSM、扫描探针显微镜、原子力显微镜AFM、白光干涉仪WLI等无≡法做到的。

　　样片展示：液体透镜形变、红细胞分析、MEMS微执行器

　　数字全息显微镜DHM(Digital Holographic Microscope)

　　原理：采用CCD记录物光和参考光干涉形成的全息图，根据全息图中包含的相位信息和㊣振幅信息做实时数值重建，得到样品精确的三维形貌。

　　和和传统光学显微镜和电子显微镜SEM、原子力显微镜AFM、激光扫描共聚焦显微镜CLSM等明显的优势在于其非扫描成像的方式，可以做到超高速№实时动态3D显微。这个特性目前最多的应用是在MEMS微机电系统领域表征MEMS器件动态响应。相比MEMS领域传统采用的激光多普勒测振仪在精度上⊙有优势。

　　1、液体透镜结构形变

　　2、石墨烯薄膜受力形变

　　3、加热可降解材料╱的挥发

　　4、光敏聚合物受光形〓变

　　测量原理是全息术：CCD采集物光与参考光干涉形成的全息图包含了物体的相位信息，再实时』数值重建3D形貌。

　　优点：1、超高速大面积3D形貌非扫描实时成像，成像速率能做到1000fps

　　2、纵向能做到亚纳米分辨率

　　3、非接触成像，无损样品，无惧振动

　　典型用户：北京大学工学院——搭建平面应力鼓膜测试平台

　　清华大学——半导体

　　华中科技大学——

　　创新4D三维形貌表征——DHM进行动态三维形貌表〓征

　　特点：

　　1、非扫描、非接触、超高速大面积、动态三维形貌表征(速度可达1000fps)

　　2、纵向亚纳米分辨率

　　3、按照国际标准进行粗糙度测量，无损样品无惧振动

　　原理：CCD记录全息图中包含物体相位信息，实时数值重建得到≡实时三维形貌图。

　　应用图例:

　　石墨烯薄膜受力形变、粗糙度测量、光敏聚合物受光形变、液体透镜形变等