新型扫▲描电镜样品制备系统解决抛光苦恼

　　您的实验室一定需要它------新型扫描电镜样品制备系统

　　您是否为了一个EBSD样品而泡在实验室一整天，但最终还是达不到EBSD样品的标定率而苦恼?

　　您是否为了一个截面样品制备而小心翼翼，但最终还是无法看到截面样品信息而苦恼?

　　您是否还为了一个孔隙结构样品被机械抛光操作时填满∮孔隙结构，而无法判定样品的真实信息而苦恼?

　　如果是，那您一定需要它：

　　它就是GATAN Ilion II 697氩离子束抛光系统，该款设备是在Gatan公司经典的691离子减薄仪技术上发展而来。它的问世改变了此前人们〓用手动或机械研磨的方法对样品进行研磨抛光的局限性。利用氩离子精密抛光装置，可以获得平滑的截面和平面，而不会对样◥品造成机械损害，是扫描电镜样品制备的新型手段，目前已经广泛应用于全球各大高校科研院所。

　　可利用 IlionII 697 进行抛光加工的材料种类十分广泛，包括由多元素组成的试样，以及

　　具有不同的机械硬度、尺寸和物理特性的合金、半导体材料、聚合物↑和矿物等。

　　具体应用领域有：• EBSD 样品

　　• 光伏、半导体

　　• 金属(氧化物, 合金)

　　• 陶瓷

　　• 地质样品，油页岩

　　• 高分子，聚合物

　　• CL

　　典型应用案例：

　　一、 EBSD样品制备

　　氩离子束抛光是利用高电流密度〒的氩离子束对样品进行减薄，氩离子相对镓离子来说非常轻，产生的应力层、非晶层非常薄，可以避免由于制样方法对实验数据产生的误导，同时由于晶格畸变较小，可以提高 EBSD的标定率，降低标定∏参数，从而有效提高标定效率，节约时间。以下三幅图片试样采用 Ilion II在 1 kV的条件下进行抛光后，在 20 kV条件下得到的碳化钨 /钴样品的 EBSD结果，其中的钴没◆有发生 FCC到 HCP的相变。(照片由英国曼切斯特大学 A Gholinia博士提供)。

　　二、页岩样品制备

　　SEM图像，视野：1mm x 600 microns，可见小至4nm的孔隙

　　三、新能源锂离子电池

有机薄膜

阳极阴极

粉末样品截面

　　四、半导体行业-PCB板

　　五、Si基太阳能电池