德国佛↘罗恩霍夫电子纳米系统研究所(ENAS)与克姆尼茨工业大学(TU Chemnitz)携手，共同研究如何将大型且笨重的实验室设备缩小到微米或纳米级规模。上周，我在德勒斯登(Dresden)参加欧洲半导体展 (SEMICON Europe)后也到此造访，研究人员们展『示一款基于微机电系统(MEMS)反射与绕射光闸的最新微米与纳米级光谱仪。
Fraunhofer开发出可携的手持近红外线光谱仪，利用MEMS技术降低尺寸与价格，可取代当今所用的大型、昂贵设备
佛罗恩霍夫∴协会(Fraunhofer Gesellschaft)拥有67所机构遍布德国，每个机构各专注于不同的应用与技术，总共雇用¤了23,000名科学家与工程师，研发预算高达20亿美元，其中的30%来自政府资助，其他70%则来自与产业的合作。
基于MEMS的光谱仪有两种尺寸--小型与卐微型级。较大尺寸的机型大约有鞋盒的三分之一(相形之下，现有的实验室光谱仪尺寸相当于行李箱大小)，利用 MEMS光学干扰滤波器，广泛涵盖3-11微米波长。取决于所使用的干扰量级，全宽/半高(FWHW)带宽大约可达到50-200nm的纳米级。
微型MEMS光谱仪的完整侦测模块，采用TO-8封装
电子可调的通频带利用2个相等且可◥移动的反射载子，达到70%以上的最大透射率，可让施力于反射间隔上引起的振动与重力最↘小化。
目前用于微型光谱仪中最小Fabry-Perot干涉仪(FPI)的芯片◥尺寸约⊙ 7mm x 7mm x 0.6mm
较大的光谱仪可用于取代实验室中不需要达到最高灵敏度或光谱范围的光谱仪，或是作为取代某些特定应用光谱仪的理想选择。其他应用包括工业工艺光谱仪、沼气厂房〖控制、燃油监测系统以及食品质量分析。
位于德国Chemnitz的佛罗恩霍夫电子纳米系统研究ㄨ所(ENAS)管理中心
较小的光谱仪基于Fabry-Perot干涉仪(FPI)，可打造足以塞进TO-8封装的小尺〗寸。这款FPI芯片尺寸为7 x 7 x 0.6mm2，用于扩展标准固定波长多色红外线探测器的】功能。其极低价格和小尺寸使其适于红外线光谱的大量应用，包括光谱成像、医疗测量、工业气体分析仪、衰减式全反射(ATR)传感器、手持○式分析仪、传感器网器、警示与↓安全系统等。
