锗烷为剧毒、可分解爆炸物质，因此对整个工艺流程设备材质的选择和处理方面有一定的难度，是对反应系统的密闭性和尾气的处理应该重视。要考虑减少废水、废气排放量，并处理，含锗烷的尾气经过无害化处理，符合排放方能排放
锗烷为无色、剧毒、可自燃、非性气体。热稳定性差，160 ～ 180 ℃时锗烷缓慢氧化，大约在280 ℃就能检测到锗烷分解为锗和氢，在350 ℃锗烷几乎全部分解成单质锗和氢气; 锗烷的自催化性很强，一旦分解形成了金属覆盖膜，就会急★剧分解，故其分解爆炸危险性很高。锗烷一般通过化学还原法、电化学反应法、等离子合成法合成，在半导体工业上有重要的用途
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