上海光学仪器一厂具有50年发展历史,是生产多种精密光、机、电结合的光学仪器制造工厂。
1. 了解干涉显微镜的结构并熟悉其使用方法
2. 熟悉用干涉法测量表面粗糙度的原理
3. 加深◎对表面粗糙度评定参数中的微观不平度
一、测量原理
干涉显微镜是利用光波干涉原理和显微镜系统测量表面粗糙度的量仪。它用光波干涉原理反映出被测表面的粗糙程度,用显微↑系统进行高倍放大后观察和测量。
二、实验步骤
1.调整量仪
接通电源,预热15-30分钟;转动手轮至目视位置,转动手轮使∏遮光板移出光路,此时从目镜可看到明亮的视场。若视场亮度不匀,可转动螺钉来调节;转动手轮,使视场中下∞方的弓形直边清晰,松开螺钉,取下目镜,从目镜管直接观察到两个灯丝象。将▲孔径光阑开至最大,转动手轮使两个灯丝象完全重合;将被测工件◣放在工作台上,被测表面向下对准物镜。转动手轮使遮光板遮住标准镜,推动滚花轮,使工作台在任意█方向移动,转动滚花〓轮使工作台升降,直至视场中观察到清晰的被测表面↓影像为止,再转动手◥轮,使遮光板移出光路。
2.找干涉带
此时采用单色光,慢慢地来回转动手轮,直至视场中出现清晰的干涉条纹Ψ为止。
4. 测量
转动滚花轮,使工作≡台旋转,调节干涉条纹的方向使之垂直于加工痕迹,松开螺钉,转动目镜,使视场中十字线的一条直线与干涉①条纹平行,然后把目镜固紧。接着开始测量你所需测量的数据。
上海光学仪器一厂的技术人员也想考考大家是否真正了解干涉显微←镜,所以留了一道思考【题给大家,问:用干涉显微镜测量表面卐粗糙度时分度值》如何体现?