Park Systems是一家起源于美国硅谷世界知名技术领先的原子力显微镜制造商。中科院微电子所是中国微电子领域的领袖之一。2012年6月18日，这两位微电子领域的巨人正式开始合作，一起进军新一代的半导体材料“石墨烯”。天美(中国)科学仪器有限公司作为Park Systems在中国的独家代理，以其雄厚的维修和应用支持力量，会为微电子所提供最优良的技术和售后服务。
本次合作的另一大重要意义是将最为◥成熟的针尖增强拉曼光谱系统应用于最前沿的石墨烯研究。针尖增强拉曼光谱系统是目前研究的应用热点，英文称之为Tip Enhanced Raman Spectroscopy, 简称TERS。该技术利用表面等离子体共振现象，把原子力显微镜和拉曼光谱仪结合起来，将拉曼光谱仪的分辨率提高到了纳米尺度。Park Systems公司和Horiba Jobin Yvon公司的合作开╳发的TERS系统是目前全世界最为成熟稳定的。
为了纪念这一重大进展，天美公司副总裁赵薇女士、Park Systems的全球销售总监Jessica和微电子所的金智主任共同为示范试验室的建立进∩行了揭幕，仪式后合影留念。三方一起为今后开展更为♂深入的技术合作进行了探讨，并取得了非常愉快的共识。
石墨烯材料具有优良的物理特性和易于与硅技术相结合的特点，被学术界和工业界认为是推进微电子技术进一步★发展的极具潜力的材料，其开发者获▓得了2010年的诺贝尔物理学奖。Park Systems生产的XE系列原子力显微镜已被成功应用于石墨烯机械和电子性能的测试，相关测量结果被发表在 Science、Nature materials和Nano Letter上。目前，中国科学院微电子研究所微波器件与集成电路研究室(四室)石墨烯研究小组在金智研究员和刘新宇研究员的带领下，正致力于研制高性能的石墨烯电子器件。随着Park Systems原子力显微镜的安装和投入使用，必将会有更多更有价值的测量结果被发掘出来。
